石英ガラス（二酸化ケイ素） - SiO2
- 化学式がSiO2の二酸化ケイ素（Silicon Oxide・シリコンオキサイド）の高純度のものを言う
- 溶融石英、シリカガラスなどとも言われる
- 他のガラスと比べ純度が高く、透明度も高い
- 耐熱性、耐熱衝撃性に優れている
- ビッカース硬度8.6〜9.8GPaと高くないが、破壊靱性値が低くカケ易いため、取り扱いが難しい
- 理化学用器具や半導体製造装置用容器、光学レンズなどに使用される
石英ガラス物性値
| 物性 | 単位 | 値 |
|---|---|---|
| 主成分 | - | SiO2 |
| 密度 | g/cm3 | 2.2 |
| 機械的特性 | ||
| 曲げ強さ | MPa | 67〜69 |
| ヤング率 | GPa | 72〜74 |
| ビッカース硬度 | GPa | 8.6〜9.8 |
| 破壊靱性 | MPa･m1/2 | |
| ポアソン比 | - | 0.17 |
| 熱的特性 | ||
| 熱膨張係数 | ×10-6/K | 0.51〜0.58 |
| 熱伝導率 | W/(m･K) | 1.38 |
| 比熱 | kJ/(kg･K) | 0.75〜0.77 |
| 耐熱衝撃性 | (⊿T)℃ | 1000以上 |
| 融点 | ℃ | 1600〜1700 |
| 沸点 | ℃ | 2200 |
| 最高使用温度 | ℃ | 1000〜1200 |
| 電気的特性 | ||
| 誘電率 | 1MHz | 3.7〜3.9 |
| 絶縁破壊電圧 | kV/mm | 25〜40 |
| 体積抵抗率 | Ω･cm | 1016 |
| 他 | ||
| 特徴 |
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| 用途 |
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